GRAS麥克風(fēng)46AE上海分公司*
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大多數麥克風(fēng)都是駐極體電容器麥克風(fēng)（ECM），這種技術(shù)已經(jīng)有幾十年的歷史。ECM 的工作原理是利用具有電荷隔離的聚合材料振動(dòng)膜。與ECM的聚合材料振動(dòng)膜相比，MEMS麥克風(fēng)在不同溫度下的性能都十分穩定，不會(huì )受溫度、振動(dòng)、濕度和時(shí)間的影響。由于耐熱性強，MEMS麥克風(fēng)可承受260℃的高溫回流焊，而性能不會(huì )有任何變化。由于組裝前后敏感性變化很小，這甚至可以節省制造過(guò)程中的音頻調試成本。目前，集成電路工藝正越來(lái)越廣泛地被應用在傳感器及傳感器接口集成電路的GRAS麥克風(fēng)46AE上海分公司*制造中。這種微制造工藝具有、設計靈活、尺寸微型化、可與信號處理電路集成、低成本、大批量生產(chǎn)的優(yōu)點(diǎn)。早期微型麥克風(fēng)是基于壓阻效應的，有研究報道稱(chēng)，制作了以(1×1)cm2、2μm厚的多晶硅膜為敏感膜的麥克風(fēng)。但是，在敏感膜內不存在應力的情況下，這樣大并且很薄的多晶硅膜的一階諧振頻率將低于300Hz。一階諧振頻率在這樣低的頻段范圍內將導致麥克風(fēng)在聽(tīng)覺(jué)頻率范圍內的頻率響應極不均勻(靈敏度的變化量大于40dB)，這對于麥克風(fēng)應用是不可接受的。當敏感膜內存在張應力時(shí)，其諧振頻率將增大，卻以犧牲靈敏度為代價(jià)。當然，可以通過(guò)調整敏感膜的尺寸來(lái)獲得更高的一階諧振頻率，但是這仍將減小靈敏度。由此可見(jiàn)，壓阻式方案并不適于微型麥克風(fēng)的制造
20世紀初，麥克風(fēng)由初通過(guò)電阻轉換聲電發(fā)展為電感、電容式轉換，大量新的麥克風(fēng)技術(shù)逐漸發(fā)展起來(lái)，這其中包括鋁帶動(dòng)圈等麥克風(fēng)，以及當前廣泛使用的電容麥克風(fēng)和駐極體麥克風(fēng)。圈麥克風(fēng)的工作原理是以人聲通過(guò)空氣使震膜振動(dòng)，然后在震膜上的電磁線(xiàn)圈繞組和環(huán)繞在動(dòng)圈麥頭的磁鐵形成磁力場(chǎng)切割，形成微弱的波動(dòng)電流。電流輸送到擴音器，再以相反的過(guò)程把波動(dòng)電流變成聲音
對于鋁帶麥克風(fēng)來(lái)說(shuō)，其使用的鋁帶既是麥克風(fēng)膜片，又是在磁場(chǎng)中運動(dòng)的導體。鋁帶通常由鋁帛制成，厚0~1毫米，寬2毫米~4毫米，質(zhì)量?jì)H為0.2毫克，以求達到較好的瞬態(tài)反應。為了取得在2kHz~4kHz之間較理想的共振頻率，鋁帶被制成皺折狀以保持一個(gè)的張力值。鋁帶作為導體和麥克風(fēng)膜片被懸掛于兩磁極面中間的磁場(chǎng)中，隨入射聲波頻率而振動(dòng)，同時(shí)在鋁帶兩端產(chǎn)生一定的電壓輸出
電容式液位傳感器由電容式傳感器與電子模塊電路組成，它以?xún)删€(xiàn)制4～20mA恒定電流輸出為基型，經(jīng)過(guò)轉換，可以用三線(xiàn)或四線(xiàn)方式輸出，輸出信號形成為 1～5V、0～5V、0～10mA等標準信號。電容傳感器由絕緣電極和裝有測量介質(zhì)的圓柱形金屬容器組成。當料位上升時(shí)，因非導電物料的介電常數明顯小于空氣的介電常數，所以電容量隨著(zhù)物料高度的變化而變化。傳感器的模塊電路由基準源、脈寬調制、轉換、恒流放大、反饋和限流等單元組成。采用脈寬調特原理進(jìn)行測量的優(yōu)點(diǎn)是頻率較低，對周?chē)漕l干擾、穩定性好、線(xiàn)性好、無(wú)明顯溫度漂移等。
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